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愛(ài)發(fā)科VSN1501真空泵維修

簡(jiǎn)要描述:

愛(ài)發(fā)科VSN1501真空泵維修:低噪音、低振動(dòng)、*的耐腐蝕性。標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)府蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

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更新時(shí)間:2024-10-29

產(chǎn)品產(chǎn)地:日本

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愛(ài)發(fā)科VSN1501真空泵維修
品牌ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科輸送介質(zhì)其他
泵軸位置邊立式葉輪數(shù)目多級(jí)

愛(ài)發(fā)科VSN1501真空泵維修

愛(ài)發(fā)科真空泵一般用于排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等),排出非活性氣體行業(yè)對(duì)泵的腐蝕性很大,大多數(shù)真空泵都是因?yàn)楦g后轉(zhuǎn)數(shù)慢,影響到生產(chǎn)效率,需要專業(yè)的廠家維修,東莞比其爾真空承接愛(ài)發(fā)科干式螺桿真空泵維修。

針對(duì)真空泵腐蝕的修復(fù)方法:

*清除表面氧化層,用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護(hù),專業(yè)的安裝方式完工。

愛(ài)發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化,除PVD工藝外,龍其適用于希望提高流量,縮短非氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

愛(ài)發(fā)科真空泵NRL180A特點(diǎn):

低噪音、低振動(dòng)、*的耐腐蝕性。

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)府蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

隨泵配送選購(gòu)件:

可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。

適用于行業(yè):

活性氣體(CVD/刻蝕等)

排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)

用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單品爐等)

可用前級(jí)泵使用(渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵)

冷凍干燥等水蒸氣排氣。

真空泵維修流程安排:

一、初步了解真空泵現(xiàn)狀

服務(wù):如有需要,會(huì)在24小時(shí)內(nèi)派出專業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)真空泵故障。

二、確定真空泵故障原因

服務(wù):真空泵確認(rèn)了解故障原因后,擬定出具體維修方案與周期、甲乙雙方簽定協(xié)議后,珠三角地區(qū)甲方安排人員上門提泵,其他區(qū)域客戶可以選擇物理快遞。

三、真空泵拆開(kāi)報(bào)價(jià)

服務(wù):為了讓客戶更清晰的知道維修費(fèi)用,比其爾會(huì)給出詳細(xì)的維修清單及費(fèi)用明細(xì)。

四、確認(rèn)真空泵維修

服務(wù):客戶同意維修費(fèi)用后開(kāi)始維修,維修后所換配件全部還客戶。

五、真空泵維修完畢后試機(jī),一般測(cè)試時(shí)間是24小時(shí)。

服務(wù):確保維修過(guò)后達(dá)到的真空度和穩(wěn)定性能,真空度達(dá)到出廠標(biāo)準(zhǔn)。

六、配送真空泵上門安裝調(diào)試。

服務(wù):在試機(jī)OK后24小時(shí)內(nèi),客戶可當(dāng)初驗(yàn)收真空泵,看試機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)效果。

七、統(tǒng)一質(zhì)保修六個(gè)月,定期回訪、并提供免費(fèi)技術(shù)支持。

服務(wù):東莞比其爾維修過(guò)的每臺(tái)真空泵都會(huì)記入檔案,我們會(huì)定期根據(jù)后期使用情況做出回訪工作。

愛(ài)發(fā)科VSN1501真空泵維修

 

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