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日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養(yǎng)

簡(jiǎn)要描述:

日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養(yǎng):低噪音、低振動(dòng)、*的耐腐蝕性。標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)府蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

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更新時(shí)間:2024-10-29

產(chǎn)品產(chǎn)地:日本

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日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養(yǎng)
品牌ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科輸送介質(zhì)其他
泵軸位置邊立式葉輪數(shù)目多級(jí)

日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養(yǎng)

愛(ài)發(fā)科真空泵NRL180A特點(diǎn):

低噪音、低振動(dòng)、*的耐腐蝕性。

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)府蝕性氣體排氣時(shí)泵

體內(nèi)部的腐蝕程度。

隨泵配送選購(gòu)件:

可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。

適用于行業(yè):

活性氣體(CVD/刻蝕等)

排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)

用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單品爐等)

作為前級(jí)泵使用(渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵)

冷凍干燥等水蒸氣排氣。

愛(ài)發(fā)科NRL180A干式螺桿真空泵一般用于排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處

理、液晶注入等),排出非活性氣體行業(yè)對(duì)泵的腐蝕性很大,大多數(shù)真空泵都是因?yàn)楦?/p>

蝕后轉(zhuǎn)數(shù)慢,影響到生產(chǎn)效率,需要專業(yè)的廠家維修,東莞比其爾真空承接愛(ài)發(fā)科

NRL180A干式螺桿真空泵維修。

針對(duì)真空泵腐蝕的修復(fù)方法:

*清除表面氧化層,用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護(hù),專業(yè)

的安裝方式完工。

愛(ài)發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化,除PVD工藝外,龍其適用于希望提高流量,縮

短非氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

選擇比其爾的優(yōu)勢(shì)---進(jìn)口真空泵專業(yè)維修廠家:擁有10年以上各類進(jìn)口真空泵維修經(jīng)驗(yàn)

及專業(yè)治具。*真空泵維修配件,提供6個(gè)月延長(zhǎng)質(zhì)保服務(wù),終身技術(shù)支持。

日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養(yǎng)

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